多晶硅铸锭炉睢宁螺杆真空泵维修/保养技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2 中，l为炉筒，2为保温盖，3为保温盖，4为保温材津牛，5为保温罩，6为 加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输 入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大，另外，现有技术中，从氩气输入管向炉内充入氩气时， 充气气压为1. 3x 103pa，氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产 成本较高。另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤，8～12公斤，15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成。以提高集成度DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸共同进步的减压工艺的设计与调整。

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电气（electrical，electrical power and equipment）是电能的生产，传输，分配，使用和电工装备等学科或工程领域的统称。是以电能，电气设备和电气技术为手段来创造，维持与改善限定空间和环境的一门科学，涵盖电能的转换，利用和研究三方面，包括基础理论，应用技术，设施设备等。位置关：又称限位关，是一种常用的小电流主令电器。在电气控制系统中，位置关的作用是实现顺序控制，控制和位置状态的检测。分类：一类为以机械行程直接接触驱动，作为输入信号的行程关和微动关，另一类为以电磁信号（非接触式）作为输入动作信号的接近关。